Produkty
Spolehlivé mapování destiček
Manipulace s destičkami: spolehlivá detekce chyb při načítání v systému FOUP
Při výrobě polovodičů se přeprava mezi jednotlivými stupni zpracování uskutečňuje ve speciálních kazetách neboli FOUPS (Front Opening Unified Pods). Riziko rozbití musí být co nejvíce minimalizováno. Mapování waferů je v tomto případě klíčové, aby bylo možné rozpoznat případné chyby při nakládání a předejít riziku rozbití.
Pro mapování oplatek je optický senzor integrován do koncového efektoru, který je umístěn na konci ramene robota a obvykle se jedná o typ vidlicového chapadla. Při mapování destiček koncový efektor vyčnívá dostatečně daleko do FOUP, aby jednotlivé destičky přerušily světelný paprsek senzoru.
Jak se koncový efektor pohybuje po FOUP shora dolů, může řídicí systém počítat, kolik destiček je přítomno a zda byly vloženy správně. Protože mezera mezi destičkami, které jsou naskládány ve FOUP, je tenká jen několik milimetrů, musí být stejně tenký i celý koncový efektor. To zase vyžaduje, aby senzor pro mapování destiček na konci koncového efektoru byl co nejtenčí a nejlehčí.
Speciálně pro tuto aplikaci jsme vyvinuli dokonale vhodný senzor pro mapování waferů - hlavice optických senzorů. BOH00EZ s tloušťkou pouhých 1,5 mm a spolehlivou spínací vzdáleností až 800 mm. Extrémně řízený a zaostřený světelný bod našeho optických senzorových hlav s technologií MicroSPOT vám nabízí mimořádnou přesnost. Zajišťují, žeplné drážky, dvojité destičky nebo křivé destičky jsou vždy spolehlivě detekovány za všech okolností. Díky flexibilním kabelům a velmi malým konstrukčním rozměrům si můžete užívat maximální svobodu při navrhování.
"Norma neodpovídá vašim požadavkům? Kromě rozsáhlého standardního portfolia nabízíme také řešení na míru. Kontaktujte nás a probereme vaše požadavky."
(Benjamin Renz, manažer globálního tržního segmentu, polovodiče a elektronika)
Speciální vlastnosti
- Vynikající přesnost v nejmenším prostoru - Minimální úhel otevření
- Přizpůsobení široké škále koncových efektorů
- Modulární systém - ideální pro specifické situace mechanické instalace
Produkty pro spolehlivé mapování destiček
Nechte nás vytěžit z vašich systémů to nejlepší
Downloads
-
Industry brochure semiconductor industry
-
Customer specific design – customized solutions that precisely meet your requirements
-
Mapping Sensor – delivering precision in the smallest possible space
