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Waferinspektion zuverlässig realisieren
Qualitätssicherung in der Produktion von Solarwafern
Der Herstellungsprozess von Solarzellen erfolgt in mehreren Schichten, einschließlich vorderer und hinterer Elektroden, einer Siliziumschicht und einer strukturierten Oberfläche mit einer antireflektierenden Beschichtung. Risse, Kratzer, Einschlüsse oder andere Fehler können die Funktion und Effizienz der Solarzelle maßgeblich negativ beeinflussen und müssen frühzeitig erkannt werden. Daher ist die Inspektion ein entscheidender Schritt in der Herstellung von PV-Zellen.
Mit unseren SWIR-Bildsensoren (Short Wave InfraRed) eröffnen sich Anwendungsmöglichkeiten in Frequenzbereichen jenseits des sichtbaren Lichts bei Wellenlängen bis zu 1700nm. Silizium wird im SWIR-Licht transparent, wodurch sich Strukturen im Wafer ganz besonders gut inspizieren lassen.
„In der Halbleiterindustrie werden Industriekameras in verschiedenen Bereichen eingesetzt, z. B. bei der automatischen optischen Inspektion (AOI). Unsere Industriekameras liefern hochauflösende, rauscharme Bilder mit hohem Dynamikbereich. Dadurch lassen sich z. B. Defekte wie Kratzer, Beschädigungen, Partikel usw. bei der Waferinspektion ausgesprochen zuverlässig identifizieren oder auch kritische Abmessungen während der Wafer Metrologie überprüfen.“
(Annika Schlecker, Key Account Managerin Life Science & Semiconductor)
Die Besonderheiten
- Verwendung modernster CMOS-Bildsensoren
- für schwierigste Lichtverhältnisse geeignet: Rolling Shutter oder Global Shutter mit Back Side Illumination
- reduzierte erforderliche Rechenleistung dank Daten-Vorverarbeitung auf FPGA in der Kamera
- individuelle Anpassung an den jeweiligen Anwendungsfall möglich
Produkte für die Waferinspektion
Lassen Sie uns das Beste aus Ihren Anlagen herausholen
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Branchenbroschüre Halbleiterindustrie
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Customer specific design – maßgeschneiderte Lösungen, die Ihre Anforderungen exakt erfüllen
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Industriekameras mit SWIR- und UV-Sensoren
